空分設(shè)備抄板及芯片解密技術(shù)
具體規(guī)格及操作:
本案例中的空分設(shè)備是芯谷成功完成PCB抄板和整套樣機(jī)仿制克隆的典型產(chǎn)品案例。其基本功能特征與參數(shù)如下:
1 壓縮、預(yù)冷及凈化 原料空氣進(jìn)入無(wú)油活塞式空氣壓縮機(jī)壓縮到0.7MPa(G)。壓縮后空氣進(jìn)入空氣預(yù)冷系統(tǒng)把空氣冷卻到8~10℃以下。出預(yù)冷機(jī)組后的空氣進(jìn)入分子篩純化系統(tǒng),空氣在純化器中脫除H2O、CO2、C2H2及其它碳?xì)浠衔?,出純化器的空氣,其露點(diǎn)低于-65℃,CO2含量小于1PPm。 純化系統(tǒng)中的吸附器由二臺(tái)立式容器組成,當(dāng)一臺(tái)吸附器由來(lái)自冷箱的污氮經(jīng)電加熱器加熱后進(jìn)行再生和冷吹時(shí),另一臺(tái)吸附器進(jìn)行吸附,兩臺(tái)吸附器間的切換由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制的氣動(dòng)碟閥定期完成,吸附劑采用13X分子篩。
2 空氣精餾 氧的制?。?出純化系統(tǒng)的加工空氣分成兩路,其中大部份進(jìn)入冷箱內(nèi)的主換熱器,在主換熱器中被返流的產(chǎn)品氧氣、氮?dú)庖约拔鄣鹊蜏貧怏w冷卻到接近露點(diǎn)。這些接近露點(diǎn)的空氣進(jìn)入下塔,在下塔中與下塔的回流液進(jìn)行熱質(zhì)交換,在下塔的頂部得到純氮,在下塔底部是富氧液空。下塔回流液是由設(shè)在下塔和上塔之間的冷凝蒸發(fā)器提供的。下塔頂部的氣氮進(jìn)入冷凝蒸發(fā)器冷凝成液氮,作為下塔的回流,同時(shí)放出冷凝潛熱使冷凝蒸發(fā)器另一側(cè)的液氧得到蒸發(fā),成為上塔精餾的熱源。 出純化系統(tǒng)的加工空氣的另一部份,先經(jīng)膨脹機(jī)驅(qū)動(dòng)的增壓機(jī)增壓,然后經(jīng)增壓后冷卻器以及主換熱器冷卻,進(jìn)入膨脹機(jī)膨脹,膨脹后空氣入上塔參與上塔精餾。下塔抽出的富氧液空經(jīng)過冷器過冷后進(jìn)入上塔,是上塔精餾的進(jìn)料空氣。從下塔頂部抽出液氮,經(jīng)過冷后作上塔的回流。作為上塔精餾的產(chǎn)品,上塔底部產(chǎn)出純度為98%的氧氣,上塔頂部產(chǎn)出氮?dú)?。上塔產(chǎn)出的產(chǎn)品氧氣、氮?dú)饧俺槿〉奈鄣?jīng)主換熱器復(fù)熱后出冷箱。復(fù)熱后的污氮作為分子篩純化系統(tǒng)用的再生氣及冷吹氣。
3 冷量制取 為了把空氣分離成產(chǎn)品氧氣和氮?dú)猓瑸榱似胶饪辗盅b置的冷損,空分裝置需要冷量。本套裝置的冷量主要是靠膨脹機(jī)產(chǎn)生的。出純化系統(tǒng)的空氣的一部份,進(jìn)入由膨脹機(jī)同軸拖動(dòng)的增壓機(jī)增壓,增壓后的空氣經(jīng)增壓后冷卻器,主換熱器冷卻到膨脹前溫度,進(jìn)入空氣軸承透平膨脹機(jī)膨脹,制取裝置所需的冷量,膨脹后空氣進(jìn)入上塔參與精餾。
4 產(chǎn)品氣體 氣態(tài)氧氣以0.03MPa(G)的壓力從冷箱送出,氧氣純度大于99.6%。
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